羅茨真空泵不能獨(dú)自使用，要配上前級(jí)泵構(gòu)成機(jī)組，運(yùn)用前級(jí)泵是為了下降羅茨泵的排出壓力，因?yàn)檎婵毡玫膲嚎s比是有限的，所以挑選前級(jí)真空泵的抽速是主要的，真空泵的最大壓縮比是隨排出壓力而改變的，在高排出壓力下，最大壓縮比最多大3：1，而最高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1，乃至更高些。

因而，挑選前級(jí)泵的抽速，要根據(jù)肯富來真空泵的長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)壓力范圍思考。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，請(qǐng)求在1 mbar進(jìn)口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)，問應(yīng)挑選多大抽速的前級(jí)泵。先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K=600：30=20得出K=20時(shí)最大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí)，在進(jìn)口壓力低于1.5 mbar以下作業(yè)是可行的，但高于1.5 mbar進(jìn)口壓力作業(yè)時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中，作業(yè)真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿意上述真空系統(tǒng)的抽氣請(qǐng)求。

首先應(yīng)當(dāng)思考的是，對(duì)預(yù)抽時(shí)間的請(qǐng)求疑問，假設(shè)正常作業(yè)時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)，可選較小的前級(jí)泵；假設(shè)真空室較大，而且請(qǐng)求很快預(yù)抽，就要用較大的前級(jí)泵，有時(shí)為了非常好表現(xiàn)設(shè)備的功率，機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常作業(yè)后停掉它，而用較小的前級(jí)泵保持，這樣做是為了節(jié)省功率。當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速通常為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，不然將使壓縮比過大，形成真空泵的排氣溫度高而不能正常作業(yè)。

選用前級(jí)泵時(shí)還有必要思考被抽氣體中是不是有腐蝕性介質(zhì)，是不是富含可凝性氣體，是很多的仍是微量的。假設(shè)富含腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適合抽除富含很多可凝性蒸汽的氣體，不然將會(huì)使密封液很快乳化，抽除富含微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也有必要選用帶有氣鎮(zhèn)設(shè)備的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

對(duì)真空泵機(jī)組的極限壓力的請(qǐng)求，也是挑選前級(jí)泵的有必要思考的，對(duì)極限真空度請(qǐng)求較高(達(dá)1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)通常選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度請(qǐng)求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，極限真空度請(qǐng)求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。

為了取得在低進(jìn)口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵構(gòu)成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此刻羅茨真空泵之間的抽速比通常在2~5之間。